ウェハ露光装置(uv led) - 企業1社の製品一覧

ウェハー露光装置（マスクアライナー）

全自動タイプ(2～12inch 及び 角型等)ウェハー露光装置

概要 高精細露光に最適化た独自UV光学系とフォトマスクとウエハを高精度に平行出しできるメカニズムを採用 バキュームコンタクト，ソフトコンタクト，プロキシミティー迄対応した全自動露光装置　特注対応可能

• 企業：株式会社清和光学製作所
• 価格：応相談

• その他半導体製造装置